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超純水級(jí)臭氧發(fā)生器
- 發(fā)布日期：2023-02-09 10:33:50
- 詳細(xì)介紹
超純水級(jí) 臭氧發(fā)生器
超純水臭氧發(fā)生器 半導(dǎo)體清洗用超純水制備 光伏用水臭氧發(fā)生器
一、概述
超純臭氧水機(jī)采用高濃度、超純凈、深度精細(xì)工藝的臭氧實(shí)現(xiàn)技術(shù)是該發(fā)生器實(shí)現(xiàn)的基礎(chǔ)。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應(yīng)用。GTC發(fā)生器能夠產(chǎn)生高濃度、大量流量、高壓力的超潔凈臭氧，整體模塊化，結(jié)構(gòu)緊湊，簡潔、可視化外觀。
二、特點(diǎn)
1、臭氧濃度高，濃度高達(dá)400mg/L；
2、臭氧輸出壓力高，壓力高達(dá)3.0bar；
3、高氣體流量；
4、采用超純發(fā)生技術(shù)與超純材料及工藝制造，避免、減少金屬污染及析出；
5、水冷型，無氮?dú)鈸郊蛹夹g(shù)；
6、獲得專利的臭氧專用結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保放電均勻一致性，保證系統(tǒng)性能更穩(wěn)定；
